日本尼康研发3D光刻机 明年将推出支持3D闪存的沉浸式ArF光刻机

在光刻机市场上，最近十多年来荷兰ASML公司一家独大，EUV光刻机中更是独一份，10亿一台的价格都供不应求，而传统的光刻机大厂日本佳能、尼康已经被甩开，不过尼康已经制定策略，重点放在3D光刻机上。

据报道，日本尼康公司提出新的目标，希望2025财年(2025年3月到2026年3月)期间，尼康的光刻机销量能提升到2019-2021财年的2倍以上。

日本光刻机厂商已经没可能在EUV光刻机上抢市场了，但尼康重点放在了能够生产3D芯片的光刻机上，明年将推出支持3D闪存、图像传感器的沉浸式ArF光刻机，这会是未来销量翻倍的杀手锏。

根据 ASML、Canon佳能、Nikon尼康2020年的数据，全球光刻机销量 413 台，同比增长 15%，按季度依次是95台、95台、97台、126台，分别同比增长19%、25%、8%、12%。

2020年413台光刻机中，ASML销售258台占比 62%，佳能销售122台(KrF、i-line)占比30%，尼康销售33台占比8%。

如果是按销售额计算，ASML、佳能、尼康的光刻机销售额占比依次是91%、3%、6%，日本两家公司占比也不到10%，ASML近乎垄断。

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