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集微网消息,近日,有投资者在投资者互动平台提问:公司子公司muetec的宏观缺陷检测产品是否可以在光刻过程中实现晶圆检测?
天准科技(688003.SH)6月26日在投资者互动平台表示,MueTec的产品面向半导体前道晶圆的量测与检测,其中Argos系列、Rembrandt系列属于宏观瑕疵检测设备。光刻过程中的检测属于微观瑕疵检测。
截至发稿,天准科技市值为87.83亿元,股价为44.94元/股,较前一日收盘价下跌1.98%。