台积电18a工厂气体污染原因揭晓氧气中被混入惰性气体氩气

来源：IT之家　2021-08-09 13:52:32

7 月末，有消息称由台积电位于中国台湾的南科 18a 工厂出现的问题，导致停产。台积电确认了这一消息，并表示南科部分厂房来自供应商的部分气体疑似受到污染。由于晶圆 18 厂是台积电最先进的 5nm 制程芯片生产基地，因此外界担心这会影响到苹果iPhone 13/Pro 系列的交付。

根据经济日报消息，台积电表示该事件造成的影响十分轻微，气体被污染的主要原因是，氧气中被混入了惰性气体氩气(Ar)。尽管受到污染，但由于氩气不参与化学反应，所以对生产过程没有影响，工厂端只需要清洗存储槽即可。