苏州晶瑞股份：一期年产3万吨半导体级高纯硫酸项目完工

来源：TechWeb 　2021-05-14 10:01:34

苏州晶瑞化学股份有限公司发布公告称，截至目前，一期年产 3 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目已完成项目备案、环境影响评价批复等程序。项目全部工程已建设完工，项目所需设备已购置并安装、调试完毕，运行稳定。经近期试生产调试，半导体级高纯硫酸产品金属杂质含量低于 10ppt，达到 G5 级水平，品质已达全球同行业第一梯队水平，产品技术指标可以履盖目前全部先进集成电路技术节点的要求。

据悉 2020 年 6 月晶瑞股份启动了年产 9 万吨超大规模集成电路用半导体级高纯硫酸技改项目。同时，为进一步提升项目建设及运营管理效率，该项目采用分期方式予以投建实施。一期建设项目设计年产能 3 万吨，总投资 18,742.13 万元。

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